Titannitrid -Titancarbid ist eine Hochtemperatur-CVD-Schicht. Ein harmonischer Spannungs- und Härteverlauf mit vom Substratwerkstoff zur Oberfläche hin ansteigender Werkstoffeigenspannung und Härte wird durch den Schichtaufbau mit TiN-Unterlage und obenliegender TiC-Schicht hergestellt. Dieser Schichtaufbau ist gegenüber der klassischen Schichtfolge in solchen Anwendungen überlegen, welche besonders stark wechselnde oder bedeutende zusätzliche Belastungen verursachen, wie z.B. thermische Wechselbeanspruchung.